在全球集成電路制造產能持續緊張的背景下，近兩年我國集成電路相關領域的投資顯著增加。

這種背景下，半導體器件設備、電子元件及電子專用材料制造投資額的大幅增長，這一趨勢也帶動了對PEEK材料需求的上升。

在半導體產業中，PEEK材料制成的CMP保持環和晶圓盒越來越受到關注，并得到了廣泛應用。

PEEK材質晶圓盒的優勢

而中研股份本次推出的四款PEEK產品，便是晶圓盒的理想選擇。

Part1產品介紹

中研股份專為晶圓盒這一特定應用場景研發了這款產品。

自2021年推出第一代晶圓盒產品以來，公司研發團隊持續專注于技術創新，成果顯著。

目前，中研股份的晶圓盒專用產品包括 310WA251 、310WA252、310WA253 和 310WA254 四個牌號。

其防靜電性、易加工性和外觀上均有卓越表現。

Part2產品優勢

1卓越的防靜電性能

目前晶圓盒專用產品的表面電阻率可達 - 。
也可根據客戶需求，達到客戶需求的防靜電等級。

2測試認證評估

已通過禁用物質（如RoHS、REACH等）測試，也通過了金屬離子和表面陰陽離子測試。

3良好的加工性能

在加工性能方面，晶圓盒專用料繼承了中研股份PEEK產品易加工的特點，表現同樣優秀，適用于晶圓盒注塑成型加工 。

4良好的尺寸穩定性

晶圓的尺寸是固定的，產線是高度自動化，晶圓要裝載到晶圓載具中時，需要晶圓盒的內部齒形部分的尺寸是穩定的，少許的偏差會導致晶圓損壞。并且在高低溫循環后依然能夠保證尺寸穩定。

因此，晶圓盒的尺寸穩定性至關重要。

5良好的注塑外觀

晶圓載具外觀光滑平整，沒有明顯的花紋和流痕。

Part3產品工藝

我們的晶圓盒產品使用“溶液-研磨-高速”分散工藝：

溶液分散能使助劑均勻附著于PEEK表面，增強PEEK的表面活性；

研磨分散能使導電劑與PEEK緊密貼合，使產品的電性能更加穩定；

最后通過高速分散使填料與各組分均勻分散，保證產品質量穩定性和一致性。

Part4產品詳解

以下為四款PEEK晶圓盒專用產品介紹，如需詳細的參數信息，請隨時與我們聯系獲取。

310WA251

• 應用領域：主要用于初代晶圓盒，已經穩定量產。
• 表面電阻率：- 。

310WA252

• 應用領域：針對新一代晶圓盒的創新之作，代表了市場上新一代的防靜電產品，已經通過了客戶的驗證階段，目前為主推型號。
• 表面電阻率：可穩定在 - 。
• 定制化：可根據客戶需求調整表面電阻率，提供定制化服務。

310WA253

• 客戶定制款

310WA254

• 表面電阻率：- ，具有更寬的應用范圍。
• 外觀：產品外觀鮮亮，加工后的晶圓盒光滑平整，無明顯花紋和流痕。

Part5解決方案與服務理念

研發實力

中研股份擁有高效的研發與檢測團隊，能夠快速響應客戶需求，最快半個月內推出新配方，提供定制化解決方案。

質量保證

檢測團隊提供全面數據分析服務，確保產品性能符合客戶使用標準。

技術優勢

公司防靜電PEEK改性技術已實現工業化，市場反饋良好。

高效測試

具備模擬條件和晶圓載具模具，研發新產品后可直接注塑成型進行內部測試，客戶可直接評價注塑成品，減少試模頻率，提高測試速度，降低測試成本。

中研股份PEEK產品的優勢

中研股份持續堅守品質與創新，深化PEEK樹脂領域探索，致力于材料性能提升與成本優化，賦能產業升級。

以市場需求為舵，以技術突破為帆，引領國產PEEK行業破浪前行，為不同行業、不同領域走向更智能、更可持續的明天。

如需進一步了解我們的產品或獲取樣品，請隨時聯系我們。